Cómo elegir la iluminación del proceso de litografía de semiconductores (tubo LED anti UV de iluminación de tubo LED amarillo T8)
1. Requisitos de brillo
En el proceso de litografía de semiconductores, la fuente de luz de iluminación garantiza la calidad de imagen del chip, por lo que el requisito de brillo es muy importante. En términos generales, el requisito de brillo para la exposición a la fotolitografía es de 100-150mW/cm². Si el brillo es demasiado bajo, provocará una subexposición y afectará la claridad y precisión de las imágenes del chip.
2. Requisitos de uniformidad
Además de los requisitos de luminosidad, la uniformidad de la iluminación también es un factor importante. En el proceso de fotolitografía, la uniformidad se refiere a la diferencia en la distribución del brillo en todas partes del proyector. En términos generales, el requisito de uniformidad está entre el 1% y el 3%. Si la uniformidad es insuficiente, puede provocar una exposición desigual del chip, lo que afectará la claridad y precisión de la imagen.
3. Requisitos de temperatura de color
La temperatura de color de la iluminación se refiere al color de la luz de iluminación. En el proceso de litografía de semiconductores, la elección de la temperatura de color también es muy importante. En términos generales, el requisito de temperatura de color está entre 3500 K-5000 K. Si la temperatura del color es demasiado baja o demasiado alta, la claridad y precisión de la imagen del chip pueden verse reducidas.
En resumen, los requisitos de iluminación en el proceso de litografía de semiconductores son muy importantes y se deben cumplir ciertos requisitos en términos de brillo, uniformidad, temperatura de color, etc. Sólo garantizando la calidad de la iluminación podemos garantizar mejor la calidad y precisión del chip. imágenes.
Parámetros detallados específicos:
1.100% aboliendo los rayos ultravioleta (longitud de onda del filtro <500 nm).
2. Tecnología de materiales de mejora de Alemania.
3. Clasificación de retardante de llama V2 de materia prima de PC.
4.Chip LED Epistar 100-120lm/w, 1500K -2000K
5. Condensador Rubycon de potencia aislado incorporado.
6. Hay disponibles cubiertas amarillas transparentes y escarchadas.
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