¿Qué es la fotolitografía?
La fotolitografía es uno de los procesos importantes en la producción de circuitos integrados (CI o chips). En pocas palabras, es el proceso de copiar un patrón de circuito en un sustrato mediante el uso de una fotomáscara y un fotorresistente.
El sustrato irá pintado sobre capa aislante de dióxido de silicio y fotorresistente. El fotorresistente se puede disolver fácilmente con un revelador después de exponerlo a la luz ultravioleta; después del disolvente y grabado, el patrón del circuito quedará en el sustrato.
¿Qué es el fotorresistente? ¿Por qué se debe bloquear la longitud de onda UV de 500 nm?
Photoresist se combina con resinas, disolventes y aditivos. El rango de sensibilidad a la luz del fotoprotector es de 200 nm-500nm. Por lo tanto, muchos laboratorios de semiconductores adoptarán luz amarilla que bloquea la longitud de onda UV de 500 nm para evitar situaciones de sobreexposición o exposición prematura del fotorresistente.
